• 全自動襯底片激光打標機

    我公司研發生產的 MA-5000高速智能激光打標機
    1. 支持晶片尺寸范圍:2-6 INCH、4-8INCH、6-12 INCH;
    2. 實現對不同晶圓材料的打標,支持晶片材料類型:GaAs、Si、GaN、SiO2、Sapphire、SiC、InP、Ge、Quartz等;
    3. 提供不同的理片、正片解決方案(支持平邊和NOTCH);
    4. 可實現硬打標(Hard Marking)和軟打標(Soft Marking)需求;
    5. 可配備SEMI字體OCR識別模塊;
    6. 可根據客戶需求配備非接觸式機械手指;
    7. 可選配FOUP Load Port Transfer或SMIF Load Port Transfer。

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